Што е плоча за полирање од керамичка плоча од алуминиумска оксид со висока чистота?

Со брзиот развој на полупроводничката индустрија, обемот на индустријата брзо се зголеми, а опремата за производство на полупроводници продолжи да се развива кон прецизност и сложеност. Бидејќи керамиката има предности како што се висока тврдост, висок модул на еластичност, висока отпорност на абење, висока изолација, отпорност на корозија, ниска експанзија итн., може да се користи како дел од машина за полирање силикон, опрема за епитаксијална/оксидациска/дифузна термичка обработка, машина за литографија, опрема за депонирање, опрема за гравирање на полупроводници, машина за јонска имплантација и друга опрема, така што истражувањето, развојот и производството на прецизни керамички делови директно влијаат на развојот на полупроводничката индустрија. Техничките барања за нејзина подготовка стануваат сè повисоки и повисоки.

Алумина со висока чистота, 99,7%-99,9% алумина.
Висока механичка цврстина, висока отпорност на абење, висока електрична изолација, висока хемиска стабилност, добра отпорност на топлина и отпорност на корозија. Во моментов, употребата на керамички диск за мелење со полупроводнички силиконски плочки е најсупериорниот и најсовремен метод на мелење. Двостраниот процес на мелење се користи за мелење на исечените силиконски плочки, а квалитетот на мелечката плочка се подобрува со подобрување на процесот на мелење (материјал на дискот, течност за мелење, притисок на мелење и брзина на мелење, итн.). Особено, употребата на керамички плочи наместо плочи од леано железо, за да се избегне мелење на главната површина на плочката предизвикано од лузни или загадување, да се намали внесувањето на метални јони, може да се намали последователната обработка на силициум, да се скрати времето на последователниот процес (корозија), да се подобри ефикасноста на производството и да се намали загубата на силициумска обработка, значително да се подобри искористувањето на силициумот.

Плоча за полирање со висока алуминаСе користи во полупроводнички, нафтени, хемиски, фотоволтаични, течни кристали и други индустрии, како што се механички делови, електронски делови, микробранови индукциски дискови, изолациски материјали и други делови, полупроводнички уреди, вакуумска опрема, опрема за производство на течни кристали и други делови. Големата и високочиста алуминиумска керамика има важна примена во индустријата за сафири и индустријата за полупроводнички чипови. Таа е клучна поддршка и потрошен материјал за хемиско механичко полирање (CMP) на сафир и полупроводнички силиконски плочки. Големата и високочиста алуминиумска керамика може да се користи и како супстрат од алуминиум за LCD.