Чистотата наДискови за полирање од алуминиумска керамичка плочаима значително влијание врз процесот, главно во следниве области:
1. Ефект на полирање:
- Полираните дискови од алуминиумска оксид со висока чистота обезбедуваат порамномерна полирана површина со помалку површински дефекти и нечистотии.
- Употребата на полупроводнички плочки за полирање со дискови од алуминиум оксид со висока чистота може да ги намали лузните или контаминацијата на главната површина на плочките, да го намали внесувањето на метални јони, да го подобри искористувањето на силиконските плочки и квалитетот на полирањето.
2. Квалитет на производот:
- Високата чистота на полираните плочи од алуминиумска керамика значи дека нивната содржина на нечистотии е ниска, што може да ја намали контаминацијата на површината на плочката предизвикана од нечистотии за време на процесот на полирање.
- Дисковите за полирање со висока чистота помагаат да се одржи чистотата на производот, обезбедувајќи стабилни перформанси на полупроводничките уреди и исполнувајќи ги строгите барања на процесот.
3. Стабилност на процесот:
- Коефициентот на термичка експанзија на дисковите за полирање од алумина со висока чистота е сличен на оној на силициумот, што помага да се намали термичкиот стрес предизвикан од промените на температурата и да се подобри стабилноста на процесот.
- Стабилниот процес помага да се намали стапката на дефекти во процесот на производство и да се подобри ефикасноста на производството.
4. Хемиска стабилност:
- Алумината со висока чистота има одлична хемиска стабилност и е способна да ги задржи своите својства и структура во широк спектар на хемиски средини.
- Ова ги прави дисковите за полирање од алуминиум оксид со висока чистота помалку подложни на корозија или абење за време на процесот на полирање и одржува подолг век на траење.
5. Економски придобивки:
- Иако почетната цена на диск за полирање од алумина со висока чистота може да биде висока, неговите одлични својства и долгиот век на траење ги намалуваат вкупните трошоци за производство.
- Покрај тоа, дисковите за полирање со висока чистота можат да го подобрат квалитетот на производот и стабилноста на процесот, да ја намалат стапката на дефектни производи и дополнително да ги подобрат економските придобивки.
6. Влијание на техничките индикатори:
- Според наведената статија, дисковите за полирање со висока чистота на алумина (99,7%-99,9%) имаат одлични физички и хемиски својства, како што се висока механичка цврстина, висока отпорност на абење, висока електрична изолација, висока хемиска стабилност, добра отпорност на топлина и корозија.
- Овие технички индикатори директно влијаат на ефектот од процесот на полирање и квалитетот на производот.
Чистотата на полираната плоча од алуминиумска керамичка плочка има важно влијание врз процесот, дискот за полирање со висока чистота може да го подобри ефектот на полирање, квалитетот на производот и стабилноста на процесот, а воедно да ги намали вкупните трошоци на производство. Затоа, во процесот на производство на полупроводници, изборот на дискови за полирање со висока чистота од алуминиум е важен за да се обезбеди квалитет на производот и да се подобри ефикасноста на производството.
Време на објавување: 14 јули 2024 година
